1. El cabezal de detección láser y la etapa de escaneo de muestra están integrados, la estructura es muy estable y la antiinterferencia es fuerte
2. Dispositivo de posicionamiento de sonda de precisión, el ajuste de alineación del punto láser es muy fácil
3. La muestra de accionamiento de un solo eje se acerca automáticamente a la sonda verticalmente, de modo que la punta de la aguja sea perpendicular al escaneo de la muestra.
4. El método inteligente de alimentación de aguja de detección automática de cerámica piezoeléctrica presurizada controlada por motor protege la sonda y la muestra
5. Posicionamiento óptico automático, sin necesidad de enfocar, observación en tiempo real y posicionamiento del área de escaneo de la muestra de la sonda
6. Suspensión de resorte método a prueba de golpes, simple y práctico, buen efecto a prueba de golpes
7. Caja insonorizada blindada de metal, sensor de temperatura y humedad de alta precisión incorporado, monitoreo en tiempo real del entorno de trabajo
8. Editor de usuario de corrección no lineal de escáner integrado, caracterización de nanómetros y precisión de medición superior al 98%
| Modo operativo | modo táctil, modo tap |
| Modo opcional | Fricción/fuerza lateral, amplitud/fase, fuerza magnética/electrostática |
| curva de espectro de fuerza | Curva de fuerza FZ, curva RMS-Z |
| rango de exploración XY | 20*20um, opcional 50*50um, 100*100um |
| Rango de escaneo Z | 2.5um, opcional 5um, 10um |
| Resolución de escaneo | 0,2 nm horizontales, 0,05 nm verticales |
| Tamaño de la muestra | Φ≤90mm, H≤20mm |
| Ejemplo de viaje por etapas | 15*15mm |
| observación óptica | Lente de objetivo óptico 4X/resolución de 2,5 um |
| Velocidad de escaneo | 0,6 Hz-30 Hz |
| Ángulo de escaneo | 0-360° |
| Entorno operativo | Sistema operativo Windows XP/7/8/10 |
| Interface de comunicación | USB2.0/3.0 |
| Diseño amortiguador | Suspensión por resorte/caja blindada de metal |
